从这篇论文的内容来看,大部分的企业认为湿式光刻法确实是一个可行的办法。
方向是没有错,并不代表他们会进行这样的研发。
现如今的光刻法,最大的限制就是光刻机的光源,波长卡在一百九十三纳米。
芯片的制成缩小到六十五纳米的时候,已经无法再进一步发展了。
想要继续发展,光源的波长必须再次缩短。
这个时候,半导体行业巨头尼康和佳能发挥传统技能,选择了保守求稳。
他们寄希望于一百五十七纳米波长光刻,以空气为介质的干式光刻技术上的突破。
只要能够突破这一层,他们就能继续领跑这个行业。
殊不知,这个技术的突破太过于困难。
前世他们研发了多年,最后还是被湿式光刻法超越了。
内容未完,下一页继续阅读